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发明名称 METHOD FOR SEMICONDUCTOR CRYSTAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPH07254560(A) 申请公布日期 1995.10.03
申请号 JP19940043493 申请日期 1994.03.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MAEDA TAKESHI
分类号 H01L21/20;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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