形成半导体积体电路之方法

摘要

一种薄膜半导体装置或积体电路，包括一绝缘基体；形成于该基体上之ＴＦＴｓ（薄膜电晶体）及多层导电互接，该电路具有成为闸极电极及闸极互接之一第一金属喷镀层，该第一金属喷镀层之表面系藉阳极氧化予以氧化，以于第一金属喷镀层表面上形成一绝缘披覆；成为源极及吸极电极或导电互接之第二金属喷镀层随后即直接地或经由一内层绝缘体形成于该绝缘披覆上，于是本发明对于产量之增进及可信赖度之增进上均得以完成。