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发明名称 Verfahren zur Messung der Schichtdicke und des Brechungsindex einer dünnen Schicht auf einem Substrat und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.
摘要
申请公布号 DE59106326(D1) 申请公布日期 1995.09.28
申请号 DE19915006326 申请日期 1991.05.29
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V., 80636 MUENCHEN, DE 发明人 BOEBEL, FRIEDRICH, D-8525 UTTENREUTH, DE;BAUER, NORBERT, D-8520 ERLANGEN, DE
分类号 C30B23/02;G01B11/06;G01N21/84;(IPC1-7):C30B23/02 主分类号 C30B23/02
代理机构 代理人
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