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发明名称 IONENSTRAHLKANONE.
摘要
申请公布号 DE69019741(T2) 申请公布日期 1995.09.28
申请号 DE19906019741T 申请日期 1990.03.06
申请人 UNITED KINGDOM ATOMIC ENERGY AUTHORITY, LONDON, GB;NORDIKO LTD., HAVANT, HAMPSHIRE, GB 发明人 DAVIS, MERVYN, HOWARD, WEST SUSSEX, GB;PROUDFOOT, GARY, OXFORDSHIRE OX12 8PS, GB;BAYLISS, KEITH, HOWARD, ABINGDON OXFORDSHIRE OX14 2AJ, GB
分类号 C23C14/46;C23C14/48;H01J27/16;H01J27/18;H01J37/06;H01J37/08;H01J37/305;H01J37/34;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J27/16 主分类号 C23C14/46
代理机构 代理人
主权项
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