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发明名称 Einrichtung und Verfahren für die Steuerung und Überwachung eines Elektronenstrahls für die Metallbearbeitung.
摘要
申请公布号 DE58909389(D1) 申请公布日期 1995.09.28
申请号 DE19895009389 申请日期 1989.03.02
申请人 LEYBOLD AG, 63450 HANAU, DE 发明人 BITTENBRUENN, HARALD, D-6450 HANAU, DE;THOMAS, FRIEDRICH-WERNER, DR., D-6460 GELNHAUSEN 2, DE;THORN, GERNOT, DIPL.-ING., D-6450 HANAU, DE
分类号 H01J37/302;H01J37/305;(IPC1-7):H01J37/302 主分类号 H01J37/302
代理机构 代理人
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