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发明名称
Halbleiterspeichervorrichtung und Verfahren zu deren Herstellung.
摘要
申请公布号
DE3588050(D1)
申请公布日期
1995.09.28
申请号
DE19853588050
申请日期
1985.12.20
申请人
FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP
发明人
TAGUCHI, MASAO, SAGAMIHARA-SHI KANAGAWA 228, JP
分类号
H01L27/10;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/10;H01L21/82
主分类号
H01L27/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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