摘要 |
<p>Es wird ein piezoelektrisches Fluidventil mit einem eine Ventilkammer (13) aufweisenden Ventilgehäuse (10), mit mindestens einem in der Ventilkammer (13) mündenden Anschlußkanal (14) und mit einem die Kanalmündung (16) umgebenden Ventilsitz (18), der mit einem Ventilglied (19) zum Schließen und Freigeben der Kanalmündung (16) zusammenwirkt, angegeben, das einen piezoelektrischen Mehrschicht-Biegewandler (20) aufweist, der einseitig im Ventilgehäuse (10) eingespannt ist und an oder nahe seinem von der Einspannstelle (103, 104) abgekehrten freien Ende das Ventilglied (19) trägt. Zur Erhöhung der Verstellkraft des Biegewandlers und damit der Dichtigkeit des Fluidventils durch höhere Schließkraft ist der Biegewandler (20) im Abstand von seiner Einspannstelle (103, 104) zusätzlich am Ventilgehäuse (10) gegen Ausschwenken abgestützt.</p> |