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发明名称 MAKING METHOD OF SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE
摘要
申请公布号 KR950011027(B1) 申请公布日期 1995.09.27
申请号 KR19920008592 申请日期 1992.05.21
申请人 HITACHI SEISAKUSYO CO., LTD. 发明人 KOMORI, KATSUHIRO;MEGURO, SATOSHI;HAGIWARA, TAKAAGI;KUME, HITOSHI;TSUGADA, TOSHIHISA;YAMAMOTO, HIDEAKI
分类号 H01L29/788;(IPC1-7):H01L29/788 主分类号 H01L29/788
代理机构 代理人
主权项
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