发明名称 Cryogenic vacuum pump with electronically controlled regeneration
摘要
申请公布号 GB9514620(D0) 申请公布日期 1995.09.27
申请号 GB19950014620 申请日期 1994.02.23
申请人 HELIX TECHNOLOGY CORPORATION 发明人
分类号 F04B37/08 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
主权项
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