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发明名称 METHOD FOR CHEMICODYNAMIC TREATMENT OF GALLIUM ARSENIDE WAFERS
摘要
申请公布号 RU2045108(C1) 申请公布日期 1995.09.27
申请号 SU19915008191 申请日期 1991.07.01
申请人 NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT MOLEKULYARNOJ ELEKTRONIKI 发明人 GARIPOV VASILIJ G;SHMELEV NIKOLAJ I;GARANIN VIKTOR P
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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