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发明名称 PROCESS AND APPARATUS FOR ETCHING SEMICONDUCTOR WAFERS.
摘要
申请公布号 EP0673545(A1) 申请公布日期 1995.09.27
申请号 EP19940930790 申请日期 1994.10.11
申请人 MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC. 发明人 ERK, HENRY F.;VANDAMME, ROLAND R.
分类号 A61K31/415;B44C1/22;C07D233/06;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 A61K31/415
代理机构 代理人
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