发明名称 |
Method of manufacturing ALGaAs crystal |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2287824(A) |
申请公布日期 |
1995.09.27 |
申请号 |
GB19950000868 |
申请日期 |
1995.01.17 |
申请人 |
* MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
MOTOHARU * MIYASHITA;HIROTAKA * KIZUKI |
分类号 |
H01L21/20;C30B25/02;H01L21/205;H01L21/331;H01S5/00;H01S5/026;H01S5/323;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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