发明名称 Method of manufacturing ALGaAs crystal
摘要
申请公布号 GB2287824(A) 申请公布日期 1995.09.27
申请号 GB19950000868 申请日期 1995.01.17
申请人 * MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 MOTOHARU * MIYASHITA;HIROTAKA * KIZUKI
分类号 H01L21/20;C30B25/02;H01L21/205;H01L21/331;H01S5/00;H01S5/026;H01S5/323;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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