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发明名称 Procedure and device for deviating a beam.
摘要
申请公布号 EP0416414(B1) 申请公布日期 1995.09.27
申请号 EP19900116363 申请日期 1990.08.27
申请人 BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 WEGMANN, URS DIPL. ING. ETH;KOLLER, ALBERT
分类号 G21K1/093;H01J37/14;H01J37/147;H01J37/305;H05H7/04;(IPC1-7):H01J37/147 主分类号 G21K1/093
代理机构 代理人
主权项
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