发明名称 MULTILAYER STRUCTURE OF DIELECTRIC ISOLATING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE, AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH07249679(A) 申请公布日期 1995.09.26
申请号 JP19940039411 申请日期 1994.03.10
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 SAWADA YASUSHI;IMAI KAZUO
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
地址