发明名称 SUBSTRATE HEATER OF THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07249576(A) 申请公布日期 1995.09.26
申请号 JP19940103434 申请日期 1994.03.08
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 ADACHI AKIRA
分类号 H05B3/20;C30B23/08;C30B25/10;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/324;H05B3/06;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 H05B3/20
代理机构 代理人
主权项
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