| 发明名称 |
FORMING METHOD OF MINUTE PATTERN OF SEMICONDUCTOR ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07249625(A) |
申请公布日期 |
1995.09.26 |
| 申请号 |
JP19940226163 |
申请日期 |
1994.09.21 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRON IND CO LTD |
发明人 |
KO YO HAN;BAKU CHIYON KON;HAN SON MIN;HO KON MIYON |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/033;H01L21/3205;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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