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发明名称 PLANAR SEMICONDUCTOR AND ITS FABRICATION
摘要
申请公布号 JPH07249737(A) 申请公布日期 1995.09.26
申请号 JP19940041034 申请日期 1994.03.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HIKICHI TOSHIAKI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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