| 发明名称 |
SUBSTRATE WASHING EQUIPMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07249605(A) |
申请公布日期 |
1995.09.26 |
| 申请号 |
JP19940041088 |
申请日期 |
1994.03.11 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
MATSUMURA YOSHIO;SHIMAJI KATSUMI |
| 分类号 |
B08B7/04;H01L21/304;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B7/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
