| 发明名称 |
METHOD AND EQUIPMENT FOR THERMOMETRY USING ION IMPLANTATION WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07248264(A) |
申请公布日期 |
1995.09.26 |
| 申请号 |
JP19940275106 |
申请日期 |
1994.11.09 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT CO |
发明人 |
WAAREN EFU MATSUKAASAA;FURETSUDO SHII SETSUSHIYON |
| 分类号 |
G01K7/16;G01K7/22;H01L21/22;H01L21/265;H01L21/66;(IPC1-7):G01K7/16 |
主分类号 |
G01K7/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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