| 发明名称 |
PROCEDIMENTO PER IL RICONOSCIMENTO DI DIFETTI NELL'ISPEZIONE DI SUPEERFICI STRUTTURATE. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
ITTO950097(A1) |
申请公布日期 |
1995.09.26 |
| 申请号 |
IT1995TO00097 |
申请日期 |
1995.02.14 |
| 申请人 |
JENOPTIK TECHNOLOGIE GMBH |
发明人 |
KOLLHOF DIETMAR;WIENECKE JOACHIM;FRANKE KARL-HEINZ;GRAF MICHAEL;KEMPE HEIKO |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B11/30;G01N21/88;G01R31/308;G06T1/00;G06T7/00;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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