发明名称 |
IRON CONCENTRATION MEASUREMENT METHOD OF SILICON WAFER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07249666(A) |
申请公布日期 |
1995.09.26 |
申请号 |
JP19940068091 |
申请日期 |
1994.03.11 |
申请人 |
KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD |
发明人 |
KATO HIROTAKA;MATSUMOTO KEI;KONO MITSUO |
分类号 |
C30B29/06;C30B33/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
C30B29/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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