| 发明名称 |
REDUCED PRESSURE DRYING EQUIPMENT AND REDUCED PRESSURE DRYING METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07249606(A) |
申请公布日期 |
1995.09.26 |
| 申请号 |
JP19940038954 |
申请日期 |
1994.03.10 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
MATSUYAMA RYOJI;FUJIMOTO JUN;OKUDA MASAKI;KATSUTA SHIRO |
| 分类号 |
F26B5/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
F26B5/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
