发明名称 CARRYING METHOD IN PEELING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH07249602(A) 申请公布日期 1995.09.26
申请号 JP19940065621 申请日期 1994.03.09
申请人 ETSUCHINGU PLANT KK 发明人 UCHIYAMA SHUJI
分类号 B65G13/00;C23F1/00;C23G3/00;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B65G13/00
代理机构 代理人
主权项
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