| 发明名称 |
SILICON NITRIDE FILM FORMING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07249623(A) |
申请公布日期 |
1995.09.26 |
| 申请号 |
JP19940040871 |
申请日期 |
1994.03.11 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ARIYOSHI TOMOYUKI;TAKAHASHI MIKIO;WATANABE KUNIHIKO |
| 分类号 |
C23C16/34;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/318 |
主分类号 |
C23C16/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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