发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07249619(A) 申请公布日期 1995.09.26
申请号 JP19940040204 申请日期 1994.03.11
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUZUKI YASUHIRO
分类号 H01L21/316;H01L21/318;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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