发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR THIN FILM AND MANUFACTURE OF MAGNETOELECTRIC CONVERSION ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH07249577(A) 申请公布日期 1995.09.26
申请号 JP19940104125 申请日期 1994.05.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KAWASAKI TETSUO;KORECHIKA AKIHIRO;HIRAO TAKASHI;KITAHATA MAKOTO
分类号 H01L21/20;H01L21/203;H01L43/06;H01L43/08;H01L43/12;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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