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发明名称 COATING EQUIPMENT AND COATING METHOD OF SPIN-ON-GLASS
摘要
申请公布号 JPH07249620(A) 申请公布日期 1995.09.26
申请号 JP19940041572 申请日期 1994.03.11
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KOKETSU MASAYA
分类号 H01L21/027;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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