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发明名称
CHEMICAL VAPOR GROWTH DEVICE AND FILM FORMATION METHOD USING IT
摘要
申请公布号
JPH07249584(A)
申请公布日期
1995.09.26
申请号
JP19940039973
申请日期
1994.03.10
申请人
SONY CORP
发明人
HASEGAWA TOSHIAKI
分类号
C30B29/06;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
C30B29/06
代理机构
代理人
主权项
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