发明名称 Positiv-arbeitende Photolackzusammensetzung.
摘要
申请公布号 DE69019706(T2) 申请公布日期 1995.09.21
申请号 DE19906019706T 申请日期 1990.11.09
申请人 NIPPON ZEON CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 YAMADA, TAKAMASA, KOMAKI-SHI, AICHI-KEN, JP;KAWATA, SHOJI, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;OIE, MASAYUKI, KAMAKURA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号 G03F7/023;G03F7/022;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/022;C07C39/15;C07C39/17;C07C39/367 主分类号 G03F7/023
代理机构 代理人
主权项
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