发明名称 Eichung für zweikanalige Strahlungsmessung.
摘要
申请公布号 DE69112184(D1) 申请公布日期 1995.09.21
申请号 DE19916012184 申请日期 1991.12.06
申请人 AG PROCESSING TECHNOLOGIES, INC., SUNNYVALE, CALIF., US 发明人 GAT, ARNON, PALO ALTO CA. 94301, US;MARDO, DAVID, SAN JOSE CA. 95129, US
分类号 G01J5/00;G01J5/60;H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):G01J5/00 主分类号 G01J5/00
代理机构 代理人
主权项
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