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Verfahren zur Herstellung von Organopolysiloxanen, die mindestens eine Einheit der Formel (R¹O)3-mRmSiO1/2 (I) enthalten, worin R, R¹ und m die in Anspruch 1 angegebene Bedeutung haben, dadurch gekennzeichnet, daß in einem 1. Schritt Organosiliciumverbindungen (1), die mindestens eine Si-gebundene Hydroxylgruppe aufweisen, mit mindestens einem Silan (2) der Formel (R¹O)4-mSiRm (II) und/oder dessen Teilhydrolysate, wobei R, R¹ und m die obengenannte Bedeutung hat, in Gegenwart von Fluoridsalz (3) umgesetzt wird und gegebenenfalls in einem 2. Schritt nach beendeter Umsetzung Komponente (4), welche Fluoridionen binden kann, zugesetzt wird.
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