发明名称 THIN FILM TRANSISTOR HAVING A TRIPLE LAYER DIELECTRIC GATE INSULATOR, METHOD OF FABRICATING SUCH A THIN FILM TRANSISTOR AND AN ACTIVE MATRIX DISPLAY HAVING A PLURALITY OF SUCH THIN FILM TRANSISTORS.
摘要
申请公布号 EP0672301(A1) 申请公布日期 1995.09.20
申请号 EP19920923642 申请日期 1992.12.01
申请人 LITTON SYSTEMS CANADA LIMITED 发明人 WAECHTER, DAVID
分类号 G02F1/136;G02F1/1368;G09F9/33;H01L29/73;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/73 主分类号 G02F1/136
代理机构 代理人
主权项
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