扫描探针显微镜立式探头

摘要

本实用新型是一种扫描探针显微镜SPM的立式探头，它使用一只旋柄4，通过滑动机构5同时调节支撑探头上部I的两个支点运动；再用旋柄6带动螺纹副7调节另一支点，同时配以压电器件3的电反馈伸缩，完成SPM测试调节任务，克服了原有调节装置，在对样品测试调节时的复杂和费时，达到了方便省时调节的目的。

主权项

1、一种扫描探针显微镜立式探头，其部件有装有探针(1)的探头上部Ⅰ，装有样品(2)和压电器件(3)的探头下部Ⅱ，以及固定在探头下部Ⅱ上的调节机构，其特征在于所述的调节机构中，探头旋柄(4)与连接的螺纹副上装有一个滑动机构(5)，旋柄(6)连接螺纹副机构(7)，探针(1)的下方为压电器件(3)。