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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0786465(B2) 申请公布日期 1995.09.20
申请号 JP19870272958 申请日期 1987.10.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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