| 发明名称 |
Apparatus and method for epitaxial deposition. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0381247(B1) |
申请公布日期 |
1995.09.20 |
| 申请号 |
EP19900102246 |
申请日期 |
1990.02.05 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
MALONEY, JAMES R.;MOORE, JOSEPH C. |
| 分类号 |
C30B25/10;C30B29/06;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/10 |
主分类号 |
C30B25/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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