| 发明名称 |
PHASE MODULATED INTERFEROMETER. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0612976(A3) |
申请公布日期 |
1995.09.20 |
| 申请号 |
EP19930119046 |
申请日期 |
1993.11.25 |
| 申请人 |
JENOPTIK GMBH |
发明人 |
DAMMANN, EHRHARD;BAUER, JUERGEN |
| 分类号 |
G01B9/02;G01J1/44;G01J9/02;G01J9/04;(IPC1-7):G01B9/02 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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