Radiation-sensitive composition comprising as binders novel polymers with units derived from amides of alpha,beta-unsaturated carboxylic acids.,申请号EP19920109651-传众专利搜索

发明名称	Radiation-sensitive composition comprising as binders novel polymers with units derived from amides of alpha,beta-unsaturated carboxylic acids.
摘要
申请公布号	EP0519297(B1)	申请公布日期	1995.09.20
申请号	EP19920109651	申请日期	1992.06.09
申请人	HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT	发明人	PRZYBILLA, KLAUS-JUERGEN, DR.;PAWLOWSKI, GEORG, DR.;ROESCHERT, HORST, DR.
分类号	G03F7/00;C07C233/27;C08F20/58;C08F120/58;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/028;G03F7/033;G03F7/037;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):C07C233/27	主分类号	G03F7/00
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