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发明名称 Dry etching apparatus.
摘要
申请公布号 EP0426493(B1) 申请公布日期 1995.09.20
申请号 EP19900312033 申请日期 1990.11.02
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 WATANABE, KOJI
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32;C23F4/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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