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发明名称 Sputtering apparatus and method for producing thin films of material.
摘要
申请公布号 EP0474348(B1) 申请公布日期 1995.09.20
申请号 EP19910306547 申请日期 1991.07.18
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 GALICKI, ARKADI;HORNG, CHENG TZONG;SCHWENKER, ROBERT OTTO
分类号 C23C14/22;C23C14/34;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/34;H01J37/34;C23C14/14 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
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