| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07245407(A) |
申请公布日期 |
1995.09.19 |
| 申请号 |
JP19940035142 |
申请日期 |
1994.03.07 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SETO TOSHISUKE;GOTO YASUMASA;KAWAHISA YASUTO |
| 分类号 |
H01L27/092;H01L21/8238;H01L27/08;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786;H01L21/823 |
主分类号 |
H01L27/092 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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