发明名称 FLAW INSPECTING METHOD FOR APPEARANCE INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07243976(A) 申请公布日期 1995.09.19
申请号 JP19940056734 申请日期 1994.03.02
申请人 TOYO COMMUN EQUIP CO LTD 发明人 MINOGUCHI AKIRA
分类号 G01N21/88;G01N21/958;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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