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发明名称
SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号
JPH07244055(A)
申请公布日期
1995.09.19
申请号
JP19940034778
申请日期
1994.03.04
申请人
NIKON CORP
发明人
ARAI MASAHIKO
分类号
G01B7/34;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q10/06;G01Q90/00;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00
主分类号
G01B7/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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