发明名称 DEVICE FOR INVERTING PLATE-LIKE OBJECT
摘要
申请公布号 JPH07245319(A) 申请公布日期 1995.09.19
申请号 JP19940033685 申请日期 1994.03.03
申请人 ELECTROPLATING ENG OF JAPAN CO 发明人 ANDO MASATO
分类号 H01L21/50;(IPC1-7):H01L21/50 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
主权项
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