发明名称 PROBE TIP CLEANING MEMBER
摘要
申请公布号 JPH07244074(A) 申请公布日期 1995.09.19
申请号 JP19940060059 申请日期 1994.03.03
申请人 NIPPON DENSHI ZAIRYO KK 发明人 OKUBO MASAO;YOSHIMITSU YASUYOSHI;SAKATA TERUHISA
分类号 G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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