| 发明名称 |
ACTUATOR FOR HIGH VACUUM USE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07245333(A) |
申请公布日期 |
1995.09.19 |
| 申请号 |
JP19940036728 |
申请日期 |
1994.03.08 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SUGANO SEIICHIRO;KITSUNAI HIROYUKI |
| 分类号 |
B25J19/00;H01L21/677;H01L21/68;H02K49/06;H02K49/10;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B25J19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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