| 发明名称 |
SOLUTION STIRRING MECHANISM OF VERTICAL MULTISHEETS LIQUID EPITAXY GROWING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07242490(A) |
申请公布日期 |
1995.09.19 |
| 申请号 |
JP19940033595 |
申请日期 |
1994.03.03 |
| 申请人 |
NISSHIN STEEL CO LTD |
发明人 |
KURATA KAZUHIRO;TOMIZUKA YUJI |
| 分类号 |
B01F5/00;C30B19/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B19/06 |
主分类号 |
B01F5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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