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发明名称
DISPLACEMENT MEASUREMENT PROBE
摘要
申请公布号
JPH07243846(A)
申请公布日期
1995.09.19
申请号
JP19940101590
申请日期
1994.04.15
申请人
NIKON CORP
发明人
SHINADA NOBUHIRO;SUZUKI YASUO;ARAI OSAMU
分类号
G01B21/20;G01B21/00;(IPC1-7):G01B21/20
主分类号
G01B21/20
代理机构
代理人
主权项
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