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发明名称
INTEGRATED CIRCUIT EVALUATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH07245330(A)
申请公布日期
1995.09.19
申请号
JP19940058161
申请日期
1994.03.02
申请人
NIPPON STEEL CORP
发明人
YOSHINO YUKIAKI
分类号
G01R1/067;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01R1/067
代理机构
代理人
主权项
地址
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