发明名称 INTEGRATED CIRCUIT EVALUATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07245330(A) 申请公布日期 1995.09.19
申请号 JP19940058161 申请日期 1994.03.02
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 YOSHINO YUKIAKI
分类号 G01R1/067;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
主权项
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