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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR BONDING
摘要
申请公布号 JPH07245329(A) 申请公布日期 1995.09.19
申请号 JP19940036216 申请日期 1994.03.08
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 KOBAYASHI KAZUHISA
分类号 H01L21/60;H01L21/607;(IPC1-7):H01L21/607 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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