发明名称 MASK FOR FORMING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH07243021(A) 申请公布日期 1995.09.19
申请号 JP19940033614 申请日期 1994.03.03
申请人 MURATA MFG CO LTD 发明人 NAMIKAWA YASUNORI;TANIGUCHI HIDEKI
分类号 C23C14/04;(IPC1-7):C23C14/04 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
地址